中国网7月13日讯 据悉，近日泛半导体智能制造举座治理决策供应商合肥欣奕华智能机器股份有限公司（以下简称“合肥欣奕华”）已完成12inch半导体自动物料搬送系统AMHS（Automatic Material Handling System）的开荒和Demo系统运营，并通过了本领规格考证。
芯片制造对工艺和环境条款很高——先进的12inch半导体工场需要无尘洁净的环境，对悉数工场运营的自动化、智能化进度条款很高，这使得如何提高悉数洁净工场的空间欺诈率、减少机台的闲置时刻、普及坐褥成果和居品良率成为其最珍藏的问题。12inch半导体制造工场的AMHS系统由多种硬件确立（OHT、OHB、OHCV、Stocker、Lifter、NTB等）和软件系统（MCS、OCS、STKC等）构成。AMHS系统不错在洁净环境中终了复杂工艺间的无东说念主自动搬送，普及运营成果的同期确保品性和良率。因此AMHS系统是12inch先进工艺晶圆厂大边界量产，提高坐褥成果的优先遴选。跟着行业本领发展，AMHS也将被大边界应用于12inch硅片制造、芯片制造、先进封装等各式半导体制造工序中。
江苏宝缦家纺科技有限公司合肥欣奕华AMHS系统的搬送成果、晶圆保护、当作精度等各项性能主义均达到国外先进水平，并且领有独到的旅途搜索算法专利，具备大边界车辆智能调理才略。其中自主研发的高速OHT居品，本领规格和信托性达到业界率先水平，不错在最高320m/min的高速行驶下幽静运转，青铜峡市尊科蚕丝有限公司同期高速行驶的振动数据、移载速率、Vehicle间防冲撞终结等本领主义并列业界顶尖供应商。合肥欣奕华OHT最大负载15公斤， 淄博鸿轩轻工制品有限公司不错对应多种制造工序的居品， 首页-诚平政坚果有限公司并且具备单LOOP内同期终结200台Vehicle的配车才略。
“咱们打造了占大地积400平米，少见百米轨说念的弘大AMHS Demo系统，居品具备先进的本领和快速迭代才略。OHT和Stocker的Demo为了考证复杂系统的信托性和本领主义，OHT筹划了多种复杂轨说念环境，液压部件包括直轨、转弯、不对合流部等，进一步还超过筹划并考证歪斜轨说念爬坡功能、双层轨说念、轨说念自清洁功能以及搬送中的晶圆盒后盖很是及时侦测功能等。咱们还对中枢部品无线供电系统进行了冗余化筹划，对软件系统的做事器进行自动切换的双机热备筹划液压部件，大大加多了系统的信托性。软件方面，OCS终结系统和MCS系统使用新式软件架构，撑捏海量大数据的快速收集和分析，撑捏不停机更新，其系统具备及时数据束缚与统计、情状3D重现、Vehicle预约、FDC监控、旅途筹划算法的动态更新等改造功能。”合肥欣奕华AMHS居品追究东说念主先容到，“客户很关注咱们在大边界量产制造下系统对应才略，为此咱们有益搭建了Digital Twin（数字孪生）平台，不但能加速居品筹划迭代的速率，还能构建与客户工场疏通的数字化虚构工场，模拟确立、系统和信得过坐褥制造的环境，从而考证超大边界终结才略。咱们提供了一个高信托性、高效的12inch晶圆AMHS系统的举座治理决策。”据了解，开荒团队领有向上15年AMHS从业申饬，深化富厚半导体AMHS居品应用及居品本领，现在已央求专利和软著二十多项。